热导式气体传感器用于氦检仪器中氦气浓度检测

真空箱式氦气检漏系统由于检漏率高、单次检测次数多、操作简单、运行成本低，已成为大型工件和电子设备生产线批量检漏的主要方式。根据检漏方式的不同，真空箱式氦检漏系统可分为氦压真空箱式检漏和充氦检漏回收两种方式。

充氦检漏原理：泄漏的氦气到达氦检测器中的电离器，被灯丝发射的电子束电离。在离子被特定的电压加速后，它们飞到氦检测器的磁场中进行偏转。根据质量差异，得到不同的偏转半径，筛选出氦离子到达分析管，产生微电流。经过高性能、低噪声放大后，得到可读的电流信号，通过标定建立泄漏率关系，确定泄漏率。

氦气检测是一种质谱检测方法，将氦气作为示踪气体注入到待检测的工件中，通过质量分析管将工件泄漏的氦气转换成相应的微电流信号，从而确定氦气的泄漏量，进而确定工件的泄漏是否合格。

氦是除氢之外最轻的气体，这正是氦检所利用的，当氦气注入被测管道时，在自然状态下会垂直向上扩散，如果管道有泄漏，我们可以通过氦气检测仪检测氦气的百分比浓度，利用氦气分子很小，很容易进入那些肉眼检测不到的小孔，来判断管道系统的泄漏率是否符合国家标准。这就是管道氦气检漏的方法。

对于一些高精度的精细电子元件，要测试的元件放在一个充满氦气的容器中，并加压；在压力的作用下，如果这些部件有泄漏点，氦气必然会通过这些小孔进入部件。用压缩空气吹扫元件表面少量残留的氦气后，用质谱仪检测元件表面泄漏的氦气。氦气浓度检测工采网技术工程师推荐使用热导式气体传感器：

荷兰Xensor 热导式气体传感器 - XEN-TCG3880，传感器芯片包含了2.5*3.33mm 的硅晶片，0.3mm的厚度，有一层氮化硅的薄膜，可进行热导率的测量，空气中的He、CO2、H2、N2等气体浓度的测量。

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 - MTCS2601，或者基于帕拉尼原理的真空度检测，需要超低功耗，长寿命和免维护的产品。适用于恶劣环境下初级压力控制，需要功耗和尺寸的限制，或者是气体泄漏或者水分，或者侵入。